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低温冷板 Cryo Plate with Cooper Tube Brazed | ||
低温冷板通常是铜管被钎焊到护罩或紫铜背板上，以增大捕集水汽的表面积。制冷剂在铜管里输送 。一般安装在真空腔室内，利用冷板的超低温表面，捕集吸附水汽。 | ||
可以根据用户要求定制任何形状的冷板，包括平面型、弧型。 | ||
 | | 低温盘管 Cryo Coil |
| | 低温盘管具有多种形式，是捕集水汽的关键部件，一般安装在真空腔室内，或者高阀与真空腔室之间，利用盘管的超低温表面，捕集吸附水汽。 | |
低温盘管常见材质是紫铜管，形状是圆型、方型、弧型、螺旋型，或者焊接紫铜翅片。可以根据用户要求定制任何形状的盘管。 | ||
 | 低温连接管 Refrigerant Line | |
标准长度为3米，可根据实际需要预制合适的长度。内含2根紫铜管和外部保温套管。连接管两端采用CPI或VCR接头，用于连接捕集泵或深冷通道。 | ||
如果需要，可选择不锈钢波纹管替代紫铜管。 | ||
 | 深冷通道 FeedTrough | |
标准的深冷通道，是制冷剂进出真空腔壁的通道，同时保证了冷量隔离和真空隔离。可分为单管进出型和双管进出型。 | ||
单管进出型，一般在真空腔壁预留直径为1英寸的通孔。 | ||
双管进出型，一般在真空腔壁预留直径为2英寸的通孔。 | ||
 | 制冷标准接口 Standard Coupling | |
低温制冷剂的送出与返回，水汽捕集泵的制冷接口，需要匹配低温连接管和镀膜机的深冷接口。超低温状态下的密封性能，非常重要。 | ||
标配Parker接口，可与PolyCold机型，直接兼容替换。 | ||
可选扩口制冷接头或VCR制冷接口。 | ||
 | 螺纹接口防漏 Thread Locking | |
改良的铜螺母组合，有效杜绝设备的制冷手阀、电磁阀、压力表及传感器等关键部件因采用传统螺母而容易产生的制冷剂泄漏。 | ||
专利设计的制冷接头防松装置，可杜绝因接头螺纹松动而产生的制冷剂泄漏。 | ||
 | 远程控制接口 Remote Connector | |
水汽捕集泵的主要控制功能（待机、制冷、除霜），以无源触点的形式接入机台总控。也可以外送1路或2路温度模拟量标准信号。 | ||
标配37芯航插，可与PolyCold机型，直接兼容替换。 | ||
用户也可以使用RS485通信，实现远程控制功能。 |
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